| 登録番号: 442 鋼のスパッタエッチングによる高密度・超微細・円錐状表面突起物の形成 | |
| ● 担当教官: | 中佐啓治郎 |
| ● テーマ説明: | 鋼をスパッタエッチングすると，特別の条件下で，表面に硬くて微細な円錐状のCrやW等の炭化物が高密度で形成される。その半径は0.2〜3μm，高さは半径の約3倍で，大きさや分布を制御できる。 これらは，マイクロマシンや精密機械の部品，搬送ロール，ブレーキディスクなどとして，また，表面積が大きいので触媒や触媒用担体として，さらに，先端が鋭いのでコールドエミッターや厚くてもはく離しにくい皮膜を形成するための下地処理としてなど，広範囲な分野に利用できる可能性がある。また，この炭化物層は，耐摩耗・耐食性表面としても利用できる。 スパッタエッチングによる円錐状突起物の形成に関し，製造装置の実用化と応用について，関心ある企業と共同研究を進める用意がある。 |
| ● キーワード: | スパッタエッチング、円錐状突起、炭化物、触媒担体、薄膜下地処理 |
| ● 分野: | 化学／機械／エレクトロニクス |
| ● 公開日時: | 2005年12月08日 13時38分 |