| 登録番号: 484 無機基板表面の一分子程度の極微量の有機汚染物の付着機構解析と化学構造解析 | |
| ● 担当教官: | 高萩 隆行 |
| ● テーマ説明: | 超精密プロセスにより作製される現在の半導体デバイスなでは、その基材となる基板表面に付着している有機汚染物の存在が、デバイスの歩留まりを制するとも言われている。 我々は十年来一分子層程度存在しているシリコンウエハ表面の有機汚染物の化学構造解析を行い、その発生原因の究明を行うとともに、その付着機構について研究を進めてきた。また、GC-MSやTDSおよびSTM、XPS等の多くの表面解析装置を駆使して、極微量の有機汚染物の解析をすることが可能である。 |
| ● キーワード: | 表面、有機汚染物制御、化学構造解析、付着機構解析 |
| ● 分野: | 素材／化学／エレクトロニクス |
| ● 公開日時: | 2007年08月22日 14時37分 |